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                                        當前位置:首頁   >  產品中心  >  光刻膠  >  SU-8膠  >  3010/3005/3025/3050SU-8 3000光刻膠

                                        SU-8 3000光刻膠

                                        簡要描述:SU-8 3000是一種高對比度,基于環氧的光刻膠,專為微加工和其他微電子應用中,
                                        需要化學和熱穩定的圖像。 SU-8 3000是SU-8和SU-8 2000的改進配方,已被廣泛采用
                                        由MEMS生產商使用多年。 SU-8 3000有配制用于改善附著力和降低涂層應力。
                                        SU-8 3000的粘度范圍允許膜厚為4至單層涂層厚度為120 &#181;m。

                                        • 產品型號:3010/3005/3025/3050
                                        • 廠商性質:代理商
                                        • 更新時間:2023-11-13
                                        • 訪  問  量:1745

                                        詳細介紹

                                        特征

                                        •提高附著力

                                                 •降低涂層應力

                                         

                                        •高縱橫比成像

                                                  •垂直側壁

                                                  •單層涂膜厚度大于100mm

                                                   •出色的抗干蝕刻性

                                        SU-8 3000抗蝕劑經過專門設計,可與MicroChem的SU-8顯影劑一起用于浸漬,噴涂或噴漿工藝。 也可以使用其他基于溶劑的顯影劑,例如乳酸乙酯和雙丙酮醇。 對于高縱橫比和/或厚膜結構,也建議強烈攪拌。 表6中給出了浸入過程的建議顯影時間。這些顯影時間是近似的,因為實際溶解速度會隨著攪拌而變化很大。

                                        SU-8 3000具有良好的機械性能。 但是,對于要保留成像的抗蝕劑作為終設備一部分的應用,可以在加熱板上或對流烤箱中在150-200°C之間將抗蝕劑進行坡道/分步硬烘烤,以進一步使材料交聯。 烘烤時間根據烘烤過程的類型和膜厚的不同而不同。

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