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                                        咨詢熱線

                                        18971121198

                                        當前位置:首頁   >  產品中心  >  濕法刻蝕顯影清洗系統  >  顯影機  >  UNIXX S 20 D顯影機

                                        顯影機

                                        簡要描述:UNIXX S 20 D 顯影機是應用于顯影工藝的設備,適用的基板尺寸最大到8英寸的圓片
                                        和最大到6英寸x6英寸的方片。新設計的三片式可拆卸工藝腔體可實現良好的工藝均勻
                                        性和重復性,設備也可用于清洗和旋干工藝。
                                        UNIXX S 20 D的落地式柜體經專門設計,方便操作和維修。它是一款手動顯影機,適
                                        用于實驗室開展科學研究和技術開發。設備具有多選項(例如可編程流體輸送臂)并且
                                        可以升級成自動化的系統

                                        • 產品型號:UNIXX S 20 D
                                        • 廠商性質:代理商
                                        • 更新時間:2023-11-13
                                        • 訪  問  量:550

                                        詳細介紹

                                        特點 

                                        可處理基板尺寸最大6"x 6" (150 x 150mm) 方片或 ? 8" (? 200mm)圓片 

                                        采用真空或微接觸夾具針對圓形和方形基板 不同尺寸的圓片/方形片的夾具可容易更換 

                                        真空安全聯鎖功能 

                                        觸摸屏輸入

                                        顯示 啟動、停止及真空操作按鈕 

                                        可編程速度和加速度 

                                        馬達轉速最大可達10000/

                                        易拆卸雙片腔體本體和防濺環 

                                        網絡接口 

                                        USB接口 

                                        選項 

                                        ? 電子流體輸送手臂--移動速度和位置可編程 

                                        ? 液體噴嘴 噴霧型,射流型 

                                        ? 熱流體線,最高80°C

                                        ? 真空或微接觸夾具 不同尺寸

                                        ? 可拆卸工藝腔體及防濺環

                                        ? 熱板

                                        ? 熱板接近式烘烤, 手動可調接近距離 

                                        ? 可編程接近距離熱板

                                        ? 真空泵 

                                        ? 附加HMDS熱板 

                                        性能參數 

                                        觸摸屏程序輸入

                                        ? 程序數: 100 

                                        ? 程序步數: 50 

                                        ? 最長單步時間: 999

                                        ? 單步時間分辨率: 0.1

                                        旋轉馬達

                                        ? 旋轉速度: 最高 10.000 /分鐘

                                        ? 轉速分辨率: 1/分鐘 

                                        ? 旋轉精度: ± 2 /分鐘

                                        ? 加速度: 最高 50,000 /分鐘/* *和基片重量有關

                                        熱板 

                                        ?溫度范圍: 最高 300°C

                                        ?溫度分辨率: 0.1°C

                                        ? 溫度均勻性( 100°C ) : < ± 0.5°C 

                                        動力需求

                                        ?電源: 3x208 VAC / 60 Hz / 16 A or 3x400VAC / 50 Hz / 16 A 

                                        ? 壓縮空氣: 8 ± 2 bar (116 ± 29 PSI), Tube OD ?8mm 

                                        ? 真空: -0.8 bar ± 0.2 bar / 24 in Hg, Tube OD ?8mm 

                                        ? N氮氣 (選項): 4,0 ± 0,5 bar (58 ± 7 PSI), Tube OD ?6mm 

                                        設備外形(x x )

                                        ?落地式柜體: 1200mm x 650mm x 1320mm (23.6"x 25.6"x 52") 

                                        ?帶水平調節 

                                        ?不銹鋼框架

                                        產品咨詢

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                                        • 地址:洪山區珞獅南路147號未來城A棟
                                        • 郵箱:sales@mycroinc.com
                                        • 傳真:
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